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晶体生长和半导体加工型电磁感应加热电源
作者: 发布于:2012-4-28 10:17:50 点击量:

    XW PRO系列的C型电磁感应加热电源用于晶体生长和半导体加工:

→XW PRO系列的C型感应加热电源是专为晶体生长和半导体加工设计的输出功率高稳定型产品,在RISC 的控制下,其输出功率稳定性可达 0.1% ,分辨率达 0.02% ,并且在恒功率运行时,输出功率不受电网波动以及其它加热条件变化的影响,可实现对晶体生长高稳定度功率输出的要求。

→采用RS232C或RS485进行通讯控制,对于额定功率60kW机器,可实现10W的功率输出步长调节。

→XW PRO  采用了全数字软件锁相技术,系统采用 FFT IGBT 电流进行谱分析,轻松滤掉外界对采集信号的干扰。纳秒级的控制周期能保证在任何情况下均能使 IGBT 工作于准谐振软开关状态,极大减小了开关损耗,提高了系统可靠性。

→装置具有恒功率运行和恒电流运行模式,两种模式的输出稳定性均达到0.1% ,晶体生长和半导体加工应用时,一般均采用通讯控制、恒功率运行模式。

→经阻抗匹配,可适合各种坩埚,例如石墨坩埚、铂金坩埚、铱坩埚等。

→全空冷结构,系统效率高,功率因数高。

→额定功率连续运行设计,系统故障率低,装置无水系统故障。

→多种控制方式以及丰富的接口,容易实现自动控制。

→在RISC的精确控制下,频率自动跟踪,保证设备工作在最佳谐振状态;且在电网电压波动情况下,输出功率能保持不变。

→保护限制功能齐全可靠,在感应器短路、工件短路、过载运行、电网波动等异常情况下设备不损坏。

→输出变压器隔离,感应器电压低、且可以单端接地。

→多路可编程的智能模拟输入与输出,数字输入与输出端子。方便与其他设备及仪器仪表的互联,可组成复杂的自动化控制系统;

→中文显示界面,参数在线设置功能。

→感应器水流量检测及水流量低保护 。装置提供可选的感应器水流量检测及水流量低保护功能,可以实时监测感应器水流量,且保护值可任意设置。

 
事项
 
→对输出功率高稳定型的控制一般要采用数字式的通讯控制(外部 PC 或 PLC 做为主机),否则可能达不到所需的精度和分辨率入。
→输出功率高稳定应用场合时,一般不再使用内置的 PID 进行控制,否则达不到所需的精度要求。

 



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